Az ELKH Energiatudományi Kutatóközpont (ELKH EK) Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézetén belül működő Mikrotechnológiai Laboratórium félvezető technológiai tisztaterében nemrégiben üzembe helyezték azt az uniós támogatással létesített új oxidációs kályhát, amely a kutatást, az oktatást és az ipari szenzorfejlesztést segíti majd. A fejlesztés általános célja, hogy korszerűbbé tegye az ELKH EK mikrotechnológiai infrastruktúráját, és ezzel is elősegítse az európai kompatibilitás elérését.
Az infrastruktúrafejlesztési projekt keretében beszerzett oxidációs kályha a meglévő, elavult diffúziós kályhát váltja ki egy korszerű berendezéssel. A telepített kályha elengedhetetlen a félvezetőtechnológiai eljárásokkal előállított szilíciumalapú mikromechanikai chipek és szenzorok megmunkálásához. Az új eszköz a félvezető tisztaságú szilícium kristályszeletek száraz és nedves oxidációja mellett a technológiai igényeknek megfelelő közegben végzett hőkezelési eljárásokra is alkalmas a 300–1150 oC hőmérséklet-tartományban.
Az új berendezéssel a laboratórium általános technológiai színvonala és megbízhatósága is jelentős mértékben javul, ezért a projekt ezzel is hozzájárul a hagyományosan sikeres nemzetközi és hazai K+F projektek számának bővítéséhez, emellett újabbak kezdeményezése révén elősegíti a nagy európai K+F konzorciumokhoz történő kapcsolódást. Az új oxidációs kályha már jelenleg is nélkülözhetetlen technológiai berendezés többek között a H2020 ECSEL „Kísérleti gyártósor új generációs intelligens katéterek és implantátumok gyártására (POSITION II)” uniós projekt, a „Moore-trend az orvostechnikai innovációban (Moore4Medical)” projekt, illetve az orosz–magyar együttműködésben fejlesztett „Kis fogyasztású kalorimetrikus nanoszenzorok gázérzékelésre” című projekt szenzorfejlesztéseiben.
A nemzetközi kapcsolatok mellett kiemelt szerepet szánnak a hazai ipari igények kiszolgálásának és a felsőoktatási képzések aktív támogatásának is.
A projekt az Európai Unió és Magyarország Kormánya közös finanszírozásának keretében az Európai Strukturális és Beruházási Alapok támogatásával, a Versenyképes Közép-Magyarország Operatív Program – Stratégiai K+F műhelyek kiválósága részben valósult meg, közel 227 millió forint keretösszeggel.
Bővebb információ:
https://www.mfa.kfki.hu/kutatas/projektek/vekop-diffuzios/
Kapcsolat:
Dr. Dücső Csaba, projektvezető
ELKH Energiatudományi Kutatóközpont Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet
+36 1 392 2222/3885
